作業環境をきれいにするためのウェーハ洗浄と洗浄装置には、非常に高い要件が求められます。ウエハ洗浄機は駆動モータコントローラとしてDCサーボモータを採用していますが、カーボンブラシの摩耗により粉塵のない作業環境が汚染され、メンテナンスコストが増加します。希土類永久磁石ブラシレス DC モーターは、カーボン ブラシと整流子をキャンセルし、高い信頼性、無料のメンテナンス、高効率を備えた、理想的な代替モーター ブラシ DC モーター コントローラーです。まず,開発したウェーハ洗浄機中空軸ブラシレスモータ制御装置に基づいて,ロータ磁石鋼棒型ブラシレスモータ制御装置の解析テーブル幅と空隙磁束密度波形,位置センサ位置検出法誘導法なしのブラシレスモータ制御装置との関係など,集中巻ブラシレスモータ制御装置問題の関連理論を研究した。第二に、研究機関では、ウエハー洗浄機に使用されるブラシレスモーターコントローラーに基づいて一般的なコントローラーを開発し、ブラシレスモーターコントローラーコントローラーを設計および製造しました。繰り返しになりますが、ウェーハ洗浄機のブラシレス モーター コントローラーの制御戦略、ソフトウェア開発、およびオンサイトのデバッグとテストを研究します。最後に,全速,低速,中速,高速におけるトルクリップル抑制の範囲内の他の波ブラシレスモータコントローラの制御戦略を提案し,次に,ソフトウェア設計,デバッグとテストを行った。本日はすべてのコンテンツをご紹介します。ご質問がございましたら、お電話でお問い合わせください。また、直接会社に連絡することもできます。高品質のサービスを提供します。